一個基礎的x-y掃描系統的結構較為精簡：它包含兩面反射鏡片，這些鏡片通過馬達帶動，可以將入射的激光束導向設定區域（操作區域）的任意位置。一套平場透鏡（f-透鏡）用于確保焦點固定在操作區域的平面上。在使用普通的Nd:YAG激光器時，常見的掃描面積從40×40平方毫米（焦距=100毫米）到180×180平方毫米（焦距=254毫米）不等；對于高次諧波激光器和半導體激光器，其掃描面積則從40×40平方毫米（焦距=100毫米）到120×120平方毫米（焦距=163毫米）之間，具體數值取決于平場透鏡的焦距大小。顯然，所需掃描面積越廣，工作距離也會相應增加。如果在掃描鏡組前方替代平場透鏡為聚焦透鏡配合移動透鏡，掃描面積和操作距離還能進一步擴展。這樣的配置允許掃描范圍最大達1200×1200平方毫米，工作距離提升至1500毫米。

在很多實際應用中，定位速度是一個關鍵要求。舉例來說，在焦距為163毫米的情況下，于120×120平方毫米區域內，掃描速度可高達10米每秒。通過簡單幾何計算可知，反射鏡片微小的角度誤差可能導致激光焦點在操作平面上產生明顯的偏移。因此，無論是對于掃描馬達、反光鏡，還是鏡架裝置，都需具備高精度的定位能力。同時，掃描馬達和其驅動電路會因工作發熱，引發熱漂移，從而帶來上述的定位誤差。典型的熱增益漂移參數低于30弧度每開爾文，增益漂移值則小于50 ppm每開爾文（針對每個軸）。所以，為了維持高精度和持久的穩定性，一種有效方法是選用配備水冷系統的掃描設備。例如，Superscan-II-LD型號就是這樣的選擇，其長期穩定性可達24小時內小于200弧度（而不帶主動冷卻時低于300弧度）。另外，集成自動校準功能的專業系統類型可以進一步降低增益漂移至20弧度每開爾文，位置漂移控制在5 ppm每開爾文，并在8小時內保持穩定性小于20弧度。